第一章 總則
第1．0．1 條潔凈廠房設(shè)計(jì)必須貫徹執(zhí)行國家的有關(guān)方針政策，做到技術(shù)先進(jìn)、
經(jīng)濟(jì)合理、安全適用、確保質(zhì)量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護(hù)的要求 。
第1．0．2 條本規(guī)范適用于新建和改建、擴(kuò)建的潔凈廠房設(shè)計(jì)，但不適用于以細(xì)菌為控制對(duì)象的生物潔凈室。本規(guī)范有關(guān)防火和疏散、消防設(shè)施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設(shè)計(jì)。
第1．0．3 條在利用原有建筑進(jìn)行潔凈技術(shù)改造時(shí)，潔凈廠房設(shè)計(jì)必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對(duì)待，充分利用已有的技術(shù)設(shè)施。
第1．0．4條潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、維護(hù)管理、測(cè)試和安全運(yùn)行創(chuàng)造必要的條件。
第1．0．5條潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行的國家標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的有關(guān)要求。
第二章 空氣凈度等級(jí)
第2．0．1條 空氣潔凈度應(yīng)按表2.0.1規(guī)定劃分為四個(gè)等級(jí)。
空氣潔凈度等級(jí)表2.0.1
| 等級(jí) |
每立方米（每升）空氣中≥0.5微米塵粒數(shù) |
每立方米（每升）空氣中≥5微米塵粒數(shù) |
| 100級(jí) |
≤35×100(3.5) |
≤250(0.025) |
| 1000級(jí) |
≤35×1000(35) |
≤2500(0.25) |
| 10000級(jí) |
≤35×10000(350) |
≤25000(2.5) |
| 100000級(jí) |
≤35×100000(3500) |
≤250000(25) |
注：對(duì)于空氣潔凈度為100級(jí)的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計(jì)算應(yīng)進(jìn)行多次采樣。當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，方可認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可*的。
2．0．2條潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的檢驗(yàn)，應(yīng)以動(dòng)態(tài)條件下測(cè)試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。
第三章 總體設(shè)計(jì)
第一節(jié) 潔凈廠房位置選擇和總平面布置
第二節(jié) 工藝布置和設(shè)計(jì)綜合協(xié)調(diào)
第三節(jié) 噪聲控制
第四節(jié) 振動(dòng)控制
第四章 建筑
第一節(jié) 一般規(guī)定
第二節(jié) 人員凈化和物料凈化設(shè)施
第三節(jié) 防火和疏散
第四節(jié) 室內(nèi)裝修
第五章 空氣凈化
第一節(jié) 一般規(guī)定
第二節(jié) 潔凈室正壓控制
第三節(jié) 氣流組組織和送風(fēng)量
第四節(jié) 空氣凈化處理
第五節(jié) 采暖通風(fēng)
第六節(jié) 風(fēng)管和附件
第六章 給水排水
第一節(jié) 一般規(guī)定
第二節(jié) 給水
第三節(jié) 排水
第四節(jié) 消防設(shè)施
第七章 工業(yè)氣體管道
第一節(jié) 一般規(guī)定
第7．1．1條工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。 引入潔凈的支管宜明敷。
第7．1．2條高純氣體管道設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
一、根據(jù)計(jì)算確定管徑。
二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
三、不宜設(shè)預(yù)留口。
四、不應(yīng)出現(xiàn)"盲管"等不易吹除的部位。
五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。
六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。
第7.1．3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可*的密封措施。
第7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。
第7．1．5條氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體統(tǒng)一計(jì)劃的要求進(jìn)行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在*近用氣點(diǎn)處。
第7．1．6條氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高效氣體過濾器。
第二節(jié) 管道材料、閥門和附件
第7．2．1條根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用：
一、氣體純度大小或等于99.999%時(shí)，應(yīng)采用不銹鋼管。
二、氣體純度大于或等于99.99%時(shí)，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。
三、氣體純度小于99.99%時(shí)，可采用無縫鋼管。
四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時(shí)，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙
烯管、不得采用乳膠管。
第7．2．2條高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。
第7．2．3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。
第三節(jié) 管道連接和清洗
第7．3．1條管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。
第7．3．2條管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。
第7．3．3條 高純性氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進(jìn)行清洗、脫脂等預(yù)處理。
第四節(jié) 安全技術(shù)
第7．4．1條 工業(yè)氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定；
一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器。
二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置。
三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標(biāo)志。
第7．4．2條潔凈室內(nèi)使用氫氣時(shí)，宜在室內(nèi)設(shè)置報(bào)警裝置。
第7．4．3條各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外，當(dāng)日用氣量不超過一瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。
潔凈地區(qū)和污染地區(qū)室外大氣塵濃度可相差十倍至幾十倍，這就造成了高效過濾器使用壽命有的1—2年，而有的卻高達(dá)10年之久的差別，此外，如果室外環(huán)境特別干凈，若達(dá)到1000級(jí)潔凈度，末級(jí)過濾器可以不采用高效過濾器，而采用中效過濾器或亞高效過濾器，但在污染地區(qū)則完全不可能。
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